SiC Keramik

SiC-keramik bruges mere og mere i halvlederudstyr, primært fordi det holder bedre under barske forhold. Når temperaturen bliver høj, eller processen bliver mere aggressiv, kan materialer som kvarts eller silicium begynde at vise begrænsninger, og det er normalt her, SiC kommer ind i billedet. I ovnprocesser som oxidation eller diffusion har dele som waferbåde eller padler lavet af SiC en tendens til at holde længere. De holder deres form og medfører ikke meget forurening, selv efter lange kørsler. Folk skifter ofte fra kvarts af denne grund, især når vedligeholdelsen bliver for hyppig.

Til ætsning vælges SiC ofte simpelthen fordi det overlever plasma længere. Forskellen i levetid sammenlignet med siliciumdele er mærkbar i mange opsætninger, selvom det stadig afhænger af den præcise proces. Det hjælper også lidt med partikelkontrol, som bliver mere følsom, efterhånden som noderne krymper. Du vil også se SiC brugt som susceptorer i MOCVD eller CVD. I disse tilfælde handler det mindre om "styrke" og mere om at holde temperaturadfærden stabil. Udover det viser det sig i kammerdele som foringer eller brusehoveder, og nogle gange også i håndteringskomponenter.