Højrenheds CVD-SiC-kildeblokke og -stykker

I produktionen af ​​6-tommer og 8-tommer SiC-wafere støder den traditionelle fysiske damptransportmetode (PVT) ofte på en flaskehals: forurening med kulstofstøv (C-støv) og ustabile sublimeringshastigheder fra SiC-pulver.

Vi har udviklet vores CVD-SiC-kildeblokke og -stykker med høj renhed specifikt til at håndtere præcisionsbegrænsningerne ved traditionelle pulverkilder. Vi starter med CVD-SiC-forløbere af halvlederkvalitet og behandler materialet gennem en proprietær cyklus med knusning og sortering. Det handler ikke kun om at rense overfladen – det er en dybdegående rensningsproces, der omdanner genbrugte komponenter til højtydende kildemateriale til den næste generation af SiC-wafere. Resultatet er et kildemateriale med høj densitet af 7N-kvalitet, der optimerer termiske feltgradienter og dramatisk øger krystalvækstudbyttet.

Specifikationer og bestilling

● Renhed: 6N5 til 7N

● Størrelse: 5 mm - 50 mm (kan tilpasses)

● Emballage: Dobbeltlagede, vakuumforseglede antistatiske PE-poser.

● Leveringstid: Stabil forsyningskæde med globale forsendelsesmuligheder.

Målrettede applikationer

PVT SiC-krystalvækst: Ideel til ledende og halvisolerende 4H-SiC-substrater.

8-tommer wafer-opskalering: Designet til de større termiske felter i næste generations reaktorer, hvor pulverustabilitet er forstørret.

Avanceret forskning og udvikling: Til laboratorier, der kræver den lavest mulige EPD (ætsepitdensitet) og MPD.

Semixlab Edge: Databaseret pålidelighed

Efterhånden som industrien bevæger sig mod 8-tommer SiC-produktion, bliver ensartetheden af ​​kildematerialerne den primære drivkraft for udstyrets oppetid. CVD-SiC-stykker giver den høje stablingstæthed og forudsigelige sublimering, der kræves til krystalproduktion med lang cyklus og højt udbytte.

GDMS-certificeret: Hvert parti leveres med en komplet GDMS-analyserapport.

Brugerdefineret sortering: Vi tilbyder præcis størrelsessortering (f.eks. 5-20 mm eller 20-50 mm), der matcher din specifikke digelgeometri.

Semixlab-fordelen: Højere udbytter, lavere omkostninger

7N Ultra-renhed: Total kontrol af metalliske urenheder er ikke bare et mål – det er vores standard. Ved at bruge CVD-baserede råmaterialer leverer vi en 99.99999 % ren kilde, der sikrer, at dine 4H-SiC-krystaller forbliver defektfri fra starten.

Bryd vækstbarrieren: De fleste fabrikker sidder fast ved 0.5 mm/t. Semixlab-stykker muliggør overlegen masseoverførsel og øger din PVT-proces til 1.46 mm/t. Det er den hurtigste måde at skalere din 8-tommer produktion på.

Ren sublimering: Traditionelle pulvere lider af "C-støv"-kontaminering. Vores faste klumpform sikrer nul partikler i dampfasen, hvilket begrænser MPD og holder dislokationsantallet omkring 3000 cm⁻².

Industriel effektivitet: Vi tilbyder et bæredygtigt alternativ med høj renhed ved at genbruge CVD-SiC af halvlederkvalitet. Du får et materiale, der er renere end syntetisk pulver, men prissat til masseproduktion.

Teknisk sammenligning: Chunks vs. traditionelt pulver