Højrenheds SiC-båd

Højrent siliciumcarbid (SiC)-båd er en højtydende keramisk bærer designet til højtemperatur-halvlederprocesser, krystalvækst og præcisionsvarmebehandling. Den er sintret med SiC-materiale med ultrahøj renhed og har fremragende højtemperaturresistens, termisk chokmodstand og kemisk stabilitet. Den anvendes i vid udstrækning i halvlederdiffusion, CVD, LED-epitaksi og fotovoltaisk enkeltkrystalvækst.

Påføring:

Højrent SiC-båd er et vigtigt forbrugsstof til halvlederprocesser, der primært bruges til at transportere og overføre wafere i højtemperaturmiljøer og er meget anvendt i diffusions-, oxidations-, udglødnings- og CVD-processer for siliciumwafere. Det er især velegnet til højtemperaturprocesser i tredjegenerations halvledere (såsom SiC/GaN) og strømforsyninger.

Tjenester, der kan leveres:

kundeapplikationsscenarieanalyse, matchende materialer, teknisk problemløsning.

Firmaprofil:

Semixlab har 2 laboratorier, et team af eksperter med 20 års materialeerfaring, med R&D og produktions-, test- og verifikationskapaciteter.

Tekniske parametre

Vigtigste anvendelsesområder

Godkendelse af verifikation af økologisk kæde

Semixlab High-Purity SiC Boats økologiske kædeverifikation dækker råmaterialer til produktion, har bestået international standardcertificering og har en række patenterede teknologier for at sikre dens pålidelighed og bæredygtighed inden for halvleder- og nye energiområder.

Typisk ansøgningsproces

Råmaterialeforberedelse (SiC-pulver med høj renhed) → Formningsproces (tørpresning/isostatisk presning) → Sintringsproces → Maskinbearbejdning og overfladebehandling (CNC-slibning/polering, kemisk ætsning, udglødning) → Rensning og CVD-belægning → Kvalitetskontrol → Emballering

Gennem banebrydende procesparameteroptimering sikrer Semixlab High-Purity SiC Boats unikke strukturelle design fremragende waferstabilitet, samtidig med at risikoen for partikelkontaminering reduceres betydeligt. Dens levetid kan nå 5-8 gange så lang som traditionelle kvartsbåde, hvilket gør den til en ideel bærerløsning til højtemperaturwaferbehandling. Denne innovation gør det muligt gradvist at erstatte importvarer på halvledermarkedet og dermed levere en højtydende og omkostningseffektiv indenlandsk løsning.

For detaljerede tekniske specifikationer, white papers eller prøvetestordninger, kontakt venligst vores tekniske supportteam for at undersøge, hvordan Semixlab kan forbedre din proceseffektivitet.

Kernefordele ved Semixlab High-Purity SiC-båd

1. Ekstrem renhed (vigtig fordel)

Semixlab High-Purity SiC Boat har ultrahøj renhed (≥99.9999%), og urenhedsindholdet (Fe, Al, Na osv.) kontrolleres på 1 ppm-niveauet for at undgå kontaminering af wafere eller epitaksiale materialer, hvilket er særligt velegnet til fremstilling af SiC/GaN-halvledere.

2. Kemisk inertitet (korrosionsbestandighed)

Modstandsdygtig over for syre-, alkali-/plasmaerosion og kan modstå ætsende gasser såsom HF, HCl, H2 (såsom halvlederætsningsprocesser). Ingen gasudledning ved høje temperaturer.

3. Mekanisk styrke og levetid

Ultrahøj hårdhed, fremragende slidstyrke, reducerer risikoen for partikelafgivelse og forlænger levetiden (normalt 3 til 5 gange så lang som en kvartsbåd). Deformeres ikke let ved høje temperaturer og bevarer waferens fladhed (f.eks. vridning i en diffusionsovn <0.1 mm).

4. Proceskompatibilitet

Kan tilpasses en række barske miljøer, oxidations-/reduktionsatmosfærer (såsom O2, H2, Ar) og CVD/PVD-belægningsprocesser. Overfladen kan tilpasses, såsom polering (Ra<0.1μm) eller belægning (såsom SiO2) for yderligere at reducere kontaminering.