Kvarts dele

Kvarts findes stadig overalt i halvlederbearbejdning. Det er ikke nyt, men det er pålideligt, og de fleste fabrikker er bekendt med, hvordan det opfører sig. Så længe renheden er kontrolleret, fungerer det godt i diffusions-, oxidations- og rengøringstrin.

Mange kvartsdele anvendes i ovnsystemer eller PECVD-værktøjer. Hovedforventningen er stabilitet – ikke nødvendigvis lang levetid, men forudsigelig ydeevne. Det er normalt godt nok til mange standardprocesser.

Selvfølgelig har kvarts sine begrænsninger. Det kan slides hurtigere under visse forhold, især sammenlignet med SiC. Men fordi det er relativt nemt at finde og ikke for dyrt, bruger folk det stadig ret meget.