Kvartsskive til halvlederproces

Halvlederindustrien kræver komponenter af exceptionel renhed og præcision. Kvartsskiver er en hjørnesten inden for dette felt og spiller en afgørende rolle i forskellige højtemperatur- og kemisk krævende halvlederfremstillingsprocesser. Semixlab Quartz Disk til Semiconductor Process er konstrueret af syntetisk smeltet silica (SiO2) med høj renhed for at levere exceptionel termisk stabilitet, kemisk resistens og ultralav kontaminering. Disse halvlederkvartsskiver bruges til CVD-tyndfilmsaflejring, ALD, PVD-sputtering, diffusion/glødning, RTP og plasmaætsning (RIE/ICP).

Materialeegenskaber og egenskaber

Vores halvlederkvartsskiver er fremstillet af højrent smeltet kvarts, et materiale kendt for sine exceptionelle egenskaber. De vigtigste egenskaber ved vores kvartsskiver inkluderer:

● Høj renhed: Ved at indeholde minimale urenheder forhindrer vores kvartsskiver kontaminering af følsomme halvlederwafere, hvilket er afgørende for at opretholde enhedens integritet og udbytte.

● Fremragende termisk stabilitet: Med en lav termisk udvidelseskoefficient kan kvartsskiver modstå ekstreme temperaturudsving uden at revne eller vride sig. Dette gør dem ideelle til højtemperaturprocesser som udglødning, diffusion og oxidation.

● Kemisk inertitet: Kvarts er yderst modstandsdygtigt over for de fleste syrer og kemikalier, der anvendes i halvlederbehandling, herunder flussyre (HF) og svovlsyre (H2SO4). Denne kemiske inertitet sikrer et stabilt og ikke-reaktivt miljø for waferne.

● Høj gennemsigtighed: Smeltet kvarts har høj gennemsigtighed over for ultraviolet (UV) lys, hvilket er afgørende for fotolitografi og andre optiske processer.

Vores kvartsskiver fås i en række størrelser og tykkelser, med typiske parametre, herunder:

● Renhed: >99.995%

● Termisk udvidelseskoefficient: ~0.54 x 10−6/°C (ved 20-300°C)

● Blødgøringspunkt: ~1600°C

● Tilgængelige diametre: Op til 300 mm

Anvendelser inden for halvlederproduktion

Højrenhedskvartsskiver er uundværlige i adskillige vigtige halvlederprocesser. Deres specifikke anvendelser omfatter:

● CVD (kemisk dampaflejring): Kvartsskiver bruges som susceptorplader eller foringer i CVD-reaktorer. Deres termiske stabilitet og kemiske inertitet sikrer ensartet opvarmning og et kontamineringsfrit miljø til tyndfilmsaflejringsprocesser.

● PVD (fysisk dampaflejring): I PVD-processer som sputtering fungerer kvartsskiver som målbaglag eller substratholdere. De kan modstå den høje kinetiske energi fra aflejringsprocessen, samtidig med at de opretholder dimensionsstabilitet.

● Oxidation og diffusion: Som foring til ovne eller som en komponent i waferbåde er kvartsskiver en integreret del af højtemperaturoxidations- og diffusionsprocesser. De forhindrer metalforurening fra ovnvæggene i at nå siliciumskiverne.

● Udglødning: Kvartsskiver giver en ren og stabil overflade til termisk udglødning, en proces der bruges til at reparere krystalgitterskader og aktivere dopanter i halvlederkomponenter.

Semixlab Advantage: Din partner inden for halvlederfremstilling

Hos Semixlab er vi mere end blot en producent af halvlederkvartsskiver. Vi er en partner, der er dedikeret til din succes og tilbyder en række tjenester, der er designet til at strømline din drift og forbedre din proceseffektivitet.

● Tilpasning: Vi forstår, at hver fremstillingsproces er unik. Vores team kan fremstille brugerdefinerede kvartsskiver, der er skræddersyet til dine specifikke dimensions-, renheds- eller anvendelseskrav.

● Teknisk rådgivning: Vores tekniske eksperter tilbyder dybdegående rådgivning, der hjælper dig med at vælge det ideelle kvartsprodukt til din specifikke proces, hvilket sikrer optimal ydeevne og levetid.

● Hurtig prototyping og prøveudtagning: Vi tilbyder hurtige ekspeditionstider for prototyper og prøver, så du kan teste og validere vores produkter hurtigt og effektivt. Dette fremskynder dine forsknings- og udviklingsprocesser og reducerer time-to-market.

For procesingeniører og købere, der søger pålidelige bæreplader, isoleringsskærme og optiske understøtninger, tilbyder Semixlab kvartsskiver med snæver tolerance og lav defekt, der forbedrer udbyttet og forlænger værktøjets oppetid. Vi ser oprigtigt frem til at blive jeres langsigtede partner i Kina.