alle kategorier
Pyrolytisk grafit (PG) belægning

Pyrolytisk grafit (PG) belægning

Hjem> Produkter > CVD belægning > Pyrolytisk grafit (PG) belægning

Pyrolytisk kulstofbelagt grafitråd
Pyrolytisk kulstofbelagt grafitråd

Pyrolytisk kulstofbelagt grafitråd


Semixlabs pyrolytiske kulstofbelagte grafitringe er konstrueret til højtemperatur halvlederepitaksimiljøer, hvor termisk stabilitet, renhedskontrol og proceskonsistens er afgørende. Disse komponenter er designet med en tæt pyrolytisk kulstofbelægning på grafitsubstrater med høj renhed og giver fremragende kemisk resistens, lav partikelgenerering og overlegen termisk ensartethed under waferbehandling. Kontakt Semixlab i dag for at udforske skræddersyede pyrolytiske kulstofbelagte grafitløsninger til dine halvlederepitaksiapplikationer.

Beskrivelse

Grafitringen, der er vist her, bruges i krystalvækstudstyr til siliciumcarbid. Den installeres generelt omkring det termiske feltområde inde i ovnen og arbejder sammen med andre grafitdele under krystalvækstprocessen.

Denne type ring bruges almindeligvis i PVT-vækstsystemer, hvor ovntemperaturen forbliver ekstremt høj i lange perioder. På grund af driftsmiljøet udskifter brugerne normalt ringen efter et vist antal kørsler i stedet for at bruge den permanent.

Basismaterialet er maskinbearbejdet grafit med et PyC-overfladelag. Sammenlignet med ubehandlet grafit er den belagte overflade mere stabil under drift ved høje temperaturer og har mindre sandsynlighed for at frigive partikler inde i kammeret.

I den praktiske produktion køber mange kunder disse ringe gentagne gange som en del af rutinemæssig ovnvedligeholdelse og produktionsplanlægning.

produktegenskaber

SiC krystalvækstproces

PyC-overfladelag

En pyrolytisk kulstofbelægning påføres grafitoverfladen for at forbedre stabiliteten under høje temperaturforhold.

Til SiC-krystalvækst

Anvendes hovedsageligt i siliciumcarbidkrystalvækstovne og relaterede termiske feltsystemer.

Stabil overfladetilstand

Belægningen hjælper med at opretholde en renere arbejdsflade under lange opvarmningscyklusser.

Gentag batchproduktion

De samme specifikationer kan leveres kontinuerligt for kunder, der bruger flere ovne.

Bearbejdning i henhold til tegninger

Størrelse og struktur kan justeres i henhold til forskellige ovndesigns.


Produktion & Levering

Forskellige ovnstrukturer kræver forskellige grafitkonfigurationer, så de fleste ringe produceres i henhold til kundens tegninger eller eksisterende prøver.

Under fremstillingen kontrolleres dimensioner og belægningstykkelse før forsendelse. For kunder, der bruger store mængder i kontinuerlig produktion, er stabil repeterbarhed mellem batcher normalt en af ​​de vigtigste bekymringer.

Nogle brugere bestiller kun få stykker til test, mens andre køber større mængder regelmæssigt til langvarig produktionsbrug.

Semixlab

Semixlab leverer grafit og belagte grafitprodukter, der anvendes i halvleder- og krystalvækstindustrien. Produkterne kan fremstilles i henhold til applikationskrav, ovnstruktur og kundens specifikationer.

Specifikationer

Teknisk Information

Parameter for pyrolytisk kulstof (PyC) belægning
Vare Enhed værdi
Krystalstruktur Hexagonal
Justering Orienteret eller ikke-orienteret langs 001 retning
Rumvægt g / cm3 ~ 2.25
mikrostruktur Polykrystallinsk/Flerlags grafen
Hårdhed GPa 1.2
Elastisk modul GPa 11
Typisk tykkelse um 30±5um
Overfladens grovhed um 1.5
Produktets renhed ppm ≤5ppm
Applikationer

-Vækst af siliciumcarbidkrystal

-PVT-ovnssystemer

-Termiske feltgrafitaggregater

-Højtemperaturovnkomponenter

-Grafit forbrugsdele

Vores tjenester

Semixlab Produktbutik

undefined

UNDERSØGELSE

Hotte kategorier