Pyrolytisk kulstofbelagt grafitråd
Semixlabs pyrolytiske kulstofbelagte grafitringe er konstrueret til højtemperatur halvlederepitaksimiljøer, hvor termisk stabilitet, renhedskontrol og proceskonsistens er afgørende. Disse komponenter er designet med en tæt pyrolytisk kulstofbelægning på grafitsubstrater med høj renhed og giver fremragende kemisk resistens, lav partikelgenerering og overlegen termisk ensartethed under waferbehandling. Kontakt Semixlab i dag for at udforske skræddersyede pyrolytiske kulstofbelagte grafitløsninger til dine halvlederepitaksiapplikationer.
Beskrivelse
Grafitringen, der er vist her, bruges i krystalvækstudstyr til siliciumcarbid. Den installeres generelt omkring det termiske feltområde inde i ovnen og arbejder sammen med andre grafitdele under krystalvækstprocessen.
Denne type ring bruges almindeligvis i PVT-vækstsystemer, hvor ovntemperaturen forbliver ekstremt høj i lange perioder. På grund af driftsmiljøet udskifter brugerne normalt ringen efter et vist antal kørsler i stedet for at bruge den permanent.
Basismaterialet er maskinbearbejdet grafit med et PyC-overfladelag. Sammenlignet med ubehandlet grafit er den belagte overflade mere stabil under drift ved høje temperaturer og har mindre sandsynlighed for at frigive partikler inde i kammeret.
I den praktiske produktion køber mange kunder disse ringe gentagne gange som en del af rutinemæssig ovnvedligeholdelse og produktionsplanlægning.
produktegenskaber

PyC-overfladelag
En pyrolytisk kulstofbelægning påføres grafitoverfladen for at forbedre stabiliteten under høje temperaturforhold.
Til SiC-krystalvækst
Anvendes hovedsageligt i siliciumcarbidkrystalvækstovne og relaterede termiske feltsystemer.
Stabil overfladetilstand
Belægningen hjælper med at opretholde en renere arbejdsflade under lange opvarmningscyklusser.
Gentag batchproduktion
De samme specifikationer kan leveres kontinuerligt for kunder, der bruger flere ovne.
Bearbejdning i henhold til tegninger
Størrelse og struktur kan justeres i henhold til forskellige ovndesigns.
Produktion & Levering
Forskellige ovnstrukturer kræver forskellige grafitkonfigurationer, så de fleste ringe produceres i henhold til kundens tegninger eller eksisterende prøver.
Under fremstillingen kontrolleres dimensioner og belægningstykkelse før forsendelse. For kunder, der bruger store mængder i kontinuerlig produktion, er stabil repeterbarhed mellem batcher normalt en af de vigtigste bekymringer.
Nogle brugere bestiller kun få stykker til test, mens andre køber større mængder regelmæssigt til langvarig produktionsbrug.
Semixlab
Semixlab leverer grafit og belagte grafitprodukter, der anvendes i halvleder- og krystalvækstindustrien. Produkterne kan fremstilles i henhold til applikationskrav, ovnstruktur og kundens specifikationer.
Specifikationer
Teknisk Information
| Parameter for pyrolytisk kulstof (PyC) belægning | ||
| Vare | Enhed | værdi |
| Krystalstruktur | Hexagonal | |
| Justering | Orienteret eller ikke-orienteret langs 001 retning | |
| Rumvægt | g / cm3 | ~ 2.25 |
| mikrostruktur | Polykrystallinsk/Flerlags grafen | |
| Hårdhed | GPa | 1.2 |
| Elastisk modul | GPa | 11 |
| Typisk tykkelse | um | 30±5um |
| Overfladens grovhed | um | 1.5 |
| Produktets renhed | ppm | ≤5ppm |
Applikationer
-Vækst af siliciumcarbidkrystal
-PVT-ovnssystemer
-Termiske feltgrafitaggregater
-Højtemperaturovnkomponenter
-Grafit forbrugsdele
Vores tjenester

Semixlab Produktbutik


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




