Producent af CVD SiC-belagt grafitsusceptor til MOCVD og epitaksi

Produkt oversigt

Ved epitaksial vækst har susceptoren en direkte indflydelse på, hvor ensartet wafere opvarmes, og hvor ensartet vækstmiljøet forbliver i løbet af en kørsel. Semixlabs CVD SiC-belagte susceptorer er lavet af tæt grafit og belagt med vores SiC-proces. Hvad bidrager de med?

● God varmeledningsevne

● Jævne temperaturprofiler på tværs af waferen

● Solid modstandsdygtighed over for proceskemikalier

● Lav partikelafgivelse

● Forlænget levetid for delene i varme områder

CVD-belægningen danner en tæt SiC-hud, der beskytter grafitten mod aggressive gasser og øger komponentens samlede robusthed.

Nøglefunktioner

Grafitsubstrat med høj renhed

Vi bruger grafitkvaliteter, der giver dig:

● Lavt antal urenheder

● Forudsigelig mekanisk respons

● Tilstrækkelig varmeledning

● God tolerance over for termisk chok

Denne grafit holder godt under hurtige opvarmnings- og afkølingscyklusser.

Ensartet CVD SiC-belægning

SiC-laget giver:

● Høj overfladehårdhed

● God oxidationsbeskyttelse

● Forbedret korrosionsbestandighed

● Mindre risiko for kontaminering

Belægningstykkelsen og overfladefinishen kan varieres, så den passer til din specifikke proces.

Fremragende termisk ensartethed

Det er uundgåeligt at opnå et stabilt termisk felt for epitaksi. Kombinationen af ​​grafits ledningsevne og SiC's overfladeegenskaber bidrager til at levere:

● Ensartede wafertemperaturer

● Mere stabil behandling

● Bedre gentagelsesnøjagtighed fra kørsel til kørsel

Høj temperatur stabilitet

Disse susceptorer er bygget til at håndtere barske halvlederforhold:

● Høje driftstemperaturer

● Hyppig termisk cykling

● Vedvarende processtabilitet over lange perioder

Hvorfor vælge Semixlab?

Avanceret CVD-belægningsteknologi

Vi har praktisk erfaring med kulstofbaserede materialer og CVD-belægning, og vi kan skræddersy SiC-belagte grafitkomponenter til din specifikke halvlederapplikation.

Tilpasset produktionskapacitet

Vi håndterer:

● Prototyper

● Små kørsler

● Volumenproduktion

● Brugerdefinerede størrelser og designs

Kvalitetskontrol

Hver del bliver kontrolleret for:

● Dimensionspræcision

● Overfladetilstand

● Belægningens ensartethed

● Procespålidelighed