SiC Coated grafitvarmer til MOCVD

Produkter Detaljer

SiC Coated Graphite MOCVD Heater kombinerer den fremragende termiske ledningsevne af grafit med den høje temperatur og korrosionsbestandighed af SiC-belægninger, og er meget udbredt i metal-organisk kemisk dampaflejring (MOCVD) udstyr for at sikre stabilitet og høj renhed i wafer epitaxy vækstprocesser.

SiC-belagt grafit MOCVD-varmer Produktegenskaber

1. Ultrahøj renhed og kemisk stabilitet

Renhed ≥99.99995%: Vores grafitvarmer er forberedt under højtemperaturklorering gennem CVD-processen, som effektivt undgår forurening af metalurenheder og imødekommer efterspørgslen efter ultra-rene miljøer i halvlederfremstilling.

Anti-kemisk korrosion: Den tætte og høje hårdhed af SiC-belægning (Vickers hårdhed på 2500-2800) kan modstå erosion af syrer, alkalier, salte og organiske opløsningsmidler, hvilket forlænger udstyrets levetid i det korrosive gasmiljø.

2. Fremragende høj temperaturbestandighed

Høj temperaturstabilitet: den kan modstå op til 3000 °C i inert atmosfære, stabil drift op til 2200 °C i vakuummiljø og 1600-1700 °C i oxiderende miljø, hvilket er velegnet til de ekstreme forhold i MOCVD-reaktionskammeret.

Lav termisk udvidelseskoefficient (4.5 x 10-⁶K-¹): Denne funktion af MOCVD grafitvarmer reducerer effektivt belægningsrevner eller afskalning på grund af temperaturændringer, hvilket sikrer strukturel integritet under langvarig termisk cykling.

3. Optimeret termisk styringsydelse

Høj termisk ledningsevne (200-300 W/mK): Den høje termiske ledningsevne af Graphite MOCVD Heater bestemmer, at produktet hurtigt og ensartet kan overføre varme for at opnå ensartet waferoverfladetemperaturfordeling (±1°C), og derved effektivt forbedre epitaksiallagets ensartethed.

Laminar Gas Flow Field Design: Efter kontinuerlig teknologiiteration og opgradering sikrer vores MOCVD Heater overfladeglathed (Ra ≤ 0.8μm) og geometrioptimering ensartet fordeling af reaktive gasser og reducerer aflejringsuensartethed forårsaget af turbulens.

Sammenligning af tekniske parametre og fordele

Hvorfor Semixlab?

Tilpasning: Semixlab er forpligtet til at levere tilpassede produkter og tekniske tjenester til vores kunder. Vi understøtter tilpasning af ikke-standardstørrelser (op til 360 mm diameter) og belægningstykkelser (20-500 μm) for at imødekomme en bred vifte af udstyrsbehov.

Global certificering: Vores SiC Coated Graphite Heater er SEMI-kompatibel, ISO 9001-certificeret, og vores produkter eksporteres hovedsageligt til Europa og USA samt Japan og Sydkorea med en betydelig pris/ydelsesfordel.

Teknisk synergi: Semixlab har længe opretholdt et tæt samarbejde med topforskningsinstitutioner i Kina ved at bruge patenterede belægningsteknologier (såsom CGT Carbons SiC³-proces) for at optimere belægningstætheder og termisk stødmodstand.